Platines de positionnement pour manutention de wafers Steinmeyer

Course: 1 mm - 40 mm
Vitesse: 1 mm/s - 200 mm/s
Répétabilité: 0,3 µm - 5 µm

... Axe linéaire UHV à grande vitesse Application : Applications de numérisation rapide et à haute résolution Avantages : Positionnement rapide en UHV, également à la verticale Caractéristiques : Résolution exceptionnelle, ...

Course: 1 mm - 100 mm
Vitesse: 1 mm/s - 10 mm/s
Répétabilité: 0,4 µm - 5 µm

... LT300 Etage linéaire précis à forte charge Application : Platine de transport, platine de balayage pour charges élevées Avantage : durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec Caractéristiques : vis ...

Course: 1 mm - 300 mm
Vitesse: 1 mm/s - 10 mm/s
Répétabilité: 0,015 µm - 5 µm

... LA97 Platine linéaire nanométrique Application : balayage Avantage : positionnement nanométrique, également à la verticale Caractéristiques : positionnement avec une résolution extrême ...

Course: 1 mm - 185 mm
Vitesse: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Répétabilité: 0,4 µm - 5 µm

... LA95 - Application : étape de transport, étape de numérisation - Avantages : durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec - Caractéristiques : vis à billes avec lubrification sèche ou vis à billes avec lubrification ...

Course: 1 mm - 10 mm
Vitesse: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Répétabilité: 0,2 µm - 5 µm

... haute résolution Application : micro-scène polyvalente Avantage : pour le balayage à haute résolution Caractéristiques : positionnement à très haute résolution - Vide : toutes les plages de pression HV /UHV jusqu'à ...

Course: 1 mm - 50 mm
Vitesse: 1 mm/s - 50 mm/s
Répétabilité: 0,3 µm - 5 µm

... Différentes variantes de moteurs : Nanomotion ou moteur piézo - Combinable avec un système de positionnement XYZ (par exemple MT105) - Combinable avec des platines rotatives (par exemple DT105) pour les ...

Course: 1 mm - 100 mm
Vitesse: 1 mm/s - 10 mm/s
Répétabilité: 0,4 µm - 5 µm

... KDT300 Platine xy stable à forte charge Application : étage de transport, étage de balayage pour des charges élevées Avantage : - durée de vie élevée malgré le lubrifiant sec Caractéristiques : durée de vie élevée malgré ...

Course: 1 mm - 16 mm
Vitesse: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Répétabilité: 1 µm - 5 µm

... HT160 Etage de levage vertical précis pour charges élevées Application : étage de levage à vide Avantages : rigidité et charge élevées Caractéristiques : cale avec vis à billes - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à 10E-11 ...

Course: 1 mm - 16 mm
Vitesse: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Répétabilité: 0,7 µm - 5 µm

... HDT255 Table élévatrice à grande ouverture de charge Application : plateau élévateur à vide Avantages : - haute rigidité et charge, ouverture Caractéristiques : table à coins avec ouverture - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV ...

Course: 1 mm - 25 mm
Vitesse: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Répétabilité: 0,3 µm - 5 µm

... HT240 Etage de levage vertical précis pour charges élevées Application : Plate-forme de levage à vide Avantages : rigidité et charge élevées Caractéristiques : cale avec vis à billes - Vide : toutes les gammes HV / UHV / EUV jusqu'à ...