Profilomètre optique Nexview™ LS650

3Dinterférométriquede laboratoire

Le système de métrologie Nexview™ 650 est un outil d'inspection pour la mesure automatisée d'outils de moulage par injection, de circuits imprimés, de panneaux de verre et d'autres échantillons nécessitant un volume de travail étendu jusqu'à 650 x 650 mm. Il fournit des mesures 2D & 3D d'une variété de caractéristiques de surface avec une précision verticale sub-nanométrique et une précision latérale sub-micronique. Des performances puissantes L'interférométrie à balayage de cohérence (CSI) est la technologie de mesure au cœur du système Nexview™ 650. Cette technique sans contact offre des avantages de métrologie de surface de haute précision et de grande valeur, notamment : - Mesure pratiquement tous les types de surfaces, de rugueuses à super lisses, y compris les films minces, les pentes raides et les grandes marches. - La précision de mesure sub-nanométrique est indépendante du grossissement du champ - Performances capables de jauger - précision et répétabilité exceptionnelles pour les applications de production les plus exigeantes. - Technologie de tolérance aux vibrations SureScan™ - fonctionnement robuste dans pratiquement tous les environnements. - Le logiciel Mx™ permet un échange de données sans faille avec d'autres profileurs ZYGO, notamment ZeGage™ Pro, NewView™ 9000 et Nexview™ NX2.