Capteur de position linéaire ZPS™

sans contacten boucle ferméeoptique

Mesure de position absolue sans contact de haute précision sur un maximum de 64 canaux synchronisés Le système ZPS™ de ZYGO mesure la position absolue à l'aide de capteurs optiques ultra-compacts qui s'intègrent facilement dans des applications de haute précision telles que les miroirs déformables et le positionnement de lentilles. Le système de capteurs optiques fournit jusqu'à 64 canaux synchronisés de mesure de position absolue de haute précision, sans contact, sur une plage de 1,2 mm. La résolution de mesure est de 0,01 nm avec une stabilité de mesure ≤ 1 nm/jour. Capteur optiqueLes capteurs optiques ne génèrent pas de chaleur et sont insensibles aux interférences électromagnétiques, ce qui rend le système ZPS idéal pour les applications de haute précision susceptibles d'être affectées par ces facteurs. Les capteurs ultra-compacts sont reliés au boîtier centralisé compact par des câbles en fibre optique. Le logiciel ZPS™ gratuit de ZYGO assure une connexion plug-and-play entre le système ZPS et votre ordinateur, ce qui vous permet d'être opérationnel avec votre système rapidement et facilement. Le système ZPS est généralement utilisé dans les systèmes de rétroaction en boucle fermée qui nécessitent un flux continu de données de position de haute précision provenant de plusieurs capteurs pour compenser la dérive et maintenir un positionnement et un alignement précis. Le système peut également être utilisé comme outil dans les environnements de RD&E et de fabrication pour l'alignement dans les montages d'essai ou pour quantifier les performances mécaniques dynamiques. - Mesure optique sans contact - Mesure de position absolue répétable (≤ 0,5 nm, 3σ) - Système de haute précision utilisant des algorithmes de compensation exclusifs - Capteurs ultra-compacts sans sensibilité aux interférences électromagnétiques ni dégagement de chaleur - Composants à fibre optique fiables, éprouvés en télécommunication - Évolutif, jusqu'à 64 canaux