Interféromètre pour mesure de déplacement ZMI™ Series
optiquelaserdifférentiel

Interféromètre pour mesure de déplacement - ZMI™ Series - Zygo - optique / laser / différentiel
Interféromètre pour mesure de déplacement - ZMI™ Series - Zygo - optique / laser / différentiel
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Caractéristiques

Applications
pour mesure de déplacement
Spécifications
laser, optique, différentiel

Description

L'électronique de mesure ZMI™ calcule le déplacement en utilisant les signaux optiques des interféromètres pilotés par une source laser ZMI™. Le ZMI™ 501A offre deux axes de mesure dans un boîtier autonome pratique. Les cartes des séries ZMI™ 2400, 4000 et 4100 offrent une résolution inférieure au nanomètre pour répondre aux applications de métrologie de position les plus exigeantes. Ces cartes peuvent être ajoutées de manière modulaire dans un châssis VME pour offrir une évolutivité jusqu'à 64 axes de mesure. Pour une précision de mesure ultime, notre option brevetée de correction d'erreur cyclique élimine automatiquement et sans interruption les erreurs non linéaires courantes intrinsèques aux systèmes DMI.

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