Interféromètre pour mesure de planéité Verifire™ MST

pour mesure de longueurpour mesure d'épaisseuroptique

Simplifiez le complexe - plusieurs surfaces créent des motifs de franges complexes, le Verifire™ MST utilise une technologie brevetée de décalage de longueur d'onde pour acquérir les données de phase de plusieurs surfaces simultanément. Rapportez les métriques clés des surfaces individuelles des fenêtres parallèles, du front d'onde transmis, ainsi que des informations précises de surface à surface comme la variation d'épaisseur totale (TTV), le coin et même l'inhomogénéité du matériau. Le Verifire™ MST s'adresse aux applications exigeantes telles que le verre d'affichage des appareils mobiles, les disques de stockage de données et les tranches de semi-conducteurs, avec une métrologie précise des variations de surface et d'épaisseur pour des pièces de test aussi fines que 0,5 mm Le Verifire™ MST fournit des mesures de haute précision de la forme de la surface et du front d'onde transmis des composants optiques et des systèmes de lentilles. C'est le seul système interférométrique commercial qui peut mesurer plusieurs surfaces simultanément, en conservant les informations relatives à la surface et en fournissant des résultats rapides et simples à partir de plusieurs surfaces. - Caractérisation simultanée de la surface et du front d'onde et métrologie précise de surface à surface comme le TTV et le wedge - Qualification de la surface et de l'épaisseur de pièces d'essai d'une épaisseur aussi faible que 0,5 mm - Large gamme de résolutions latérales, y compris des conceptions optiques limitées en pixels pour offrir un ITF optimal - 1.2k x 1.2k (comprend une tourelle de zoom discrète pour un zoom optique jusqu'à 3X) - 2.3k x 2.3k - 3.4k x 3.4k