Capteur de vide capacitif à membrane ZNX series

analogiqueavec contrôleurcompact

Le capteur ZNX est un système de mesure de position sans contact basé sur le principe de la micrométrie de capacité. Deux plaques de capteurs (une cible et une sonde) forment un condensateur à plaques parallèles. L'espacement entre ces deux plaques peut être mesuré, à l'aide d'un contrôleur électronique approprié, avec une précision supérieure à 0,1 nm, une portée allant jusqu'à 1,25 mm, une réponse en fréquence allant jusqu'à 5 kHz et une linéarité de 0,02 %. Le capteur ZNX étant une méthode sans contact, il est exempt d'hystérésis. Aucune puissance n'est dissipée au point de mesure. - Précision de la mesure au picomètre - Stabilité de la mesure - Réglable pour répondre aux exigences de l'application - Options pour une large gamme d'applications -Principales caractéristiques Gamme 20 ~ 1250μm ; Résolution de position subnanométrique ; Hystérésis nulle ; Erreur de linéarité jusqu'à 0,02% ; Bande passante jusqu'à 5 kHz ; Termes Super Invar disponibles ; Options compatibles avec le vide ; Erreur de linéarité (%):<0,08, <0,08, <0,06, <0,05 ; Gamme courte μm : 20, 100, 250 ; Longue portée μm : 50, 100, 500 ; Sortie analogique : ± 5, ± 5, ± 5, 8 ; Largeur de bande maximale : 5, 5, 5, 12,5Khz.