Le capteur de gaz combustible MEMS utilise une plaque chauffante de microfabrication MEMS sur une base de substrat en Si, des matériaux sensibles aux gaz utilisés dans l'air pur avec un matériau semi-conducteur à oxyde métallique à faible conductivité. Lorsque le capteur est exposé à une atmosphère gazeuse, la conductivité change en fonction de la concentration de gaz détectée dans l'air. Plus la concentration du gaz est élevée, plus la conductivité est élevée. Utiliser un circuit simple peut convertir le changement de conductivité de la concentration de gaz correspondant au signal de sortie.
Candidature
Détection de fuites de gaz pour téléphones mobiles, ordinateurs et autres applications électroniques grand public ; s'appliquent également à l'usage domestique et commercial des dispositifs de surveillance des fuites de gaz combustible, des détecteurs de fuite de gaz, du système de détection d'incendie/sécurité.
Fonctionnalités
Technologie MEMS, construction solide
Haute sensibilité aux gaz combustibles
Petites tailles et faible consommation d'énergie
Réponse rapide et reprise
Circuit de commande simple, longue durée de vie