Élément
Le nitrure de bore pyrolytique de haute pureté et de haute performance est utilisé comme substrat pour l'élément chauffant PBN. Le graphite pyrolytique (PG) est placé sur la surface des plaques de PBN par la méthode CVD pour servir de conducteur et d'élément chauffant.
Comme le PG et le PBN sont tous deux extrêmement purs et très stables dans le vide ou dans une atmosphère inerte, l'élément chauffant PBN-PG pourrait être très durable et garder la chambre propre. Il peut être chauffé à 1600°C en très peu de temps sans émission de gaz. Ces éléments chauffants sont des produits idéaux pour l'industrie des semi-conducteurs et les applications qui nécessitent des températures élevées, un vide poussé et une grande pureté.
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