C.Cas d'application des accessoires d'implanteurs ioniques et des accessoires céramiques
1. Cas des composants d'implanteurs d'ions
Les exemples d'application des accessoires pour implanteurs d'ions comprennent la fabrication de composants clés des implanteurs d'ions, tels que les roulements, les ventouses, les mandrins électrostatiques, les buses, les filaments, les modules de cathode, etc. En raison de leur dureté, de leur solidité et de leur résistance à la chaleur élevées, les accessoires en céramique sont capables d'améliorer les performances et la fiabilité des implanteurs d'ions.
2. Cas des équipements de fabrication de semi-conducteurs
Pièces d'implanteurs ioniquesLes exemples d'équipements de fabrication de semi-conducteurs pour les accessoires en céramique comprennent les composants clés pour la fabrication d'équipements de fabrication de semi-conducteurs, tels que les substrats d'emballage, les matériaux isolants, etc. Grâce à leur excellente isolation électrique et à leur stabilité chimique, les accessoires en céramique peuvent assurer un fonctionnement stable à long terme des équipements de fabrication de semi-conducteurs dans des environnements difficiles.
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