La céramique BN-AlN est obtenue par frittage de poudre de nitrure de bore (BN) et de nitrure d'aluminium (AIN). Elle possède d'excellentes propriétés d'isolation électrique, de conductivité thermique, de solidité, de résistance aux chocs thermiques et de forte résistance au plasma de gaz halogène, ce qui lui permet d'offrir une large gamme d'applications, notamment des composants pour les équipements de production de semi-conducteurs et des composants qui nécessitent une dissipation thermique efficace.
La source d'ions est un dispositif qui crée des ions atomiques et moléculaires dans la chambre à vide. Le composite nitrure d'aluminium/nitrure de bore possède d'excellentes propriétés d'isolation électrique, de conductivité thermique, d'étanchéité au vide et ne dégage pas beaucoup de gaz. Il joue donc un rôle de dissipateur de chaleur et de plaque de transfert thermique dans les sources d'ions.
Avantages du matériau :
Résistance mécanique élevée.
Conductivité thermique élevée.
Faible dilatation thermique.
Faible perte diélectrique.
Excellente isolation électrique.
Résistance élevée à la corrosion - non mouillé par les métaux en fusion.
Excellente machinabilité : le BN-AlN peut être usiné pour obtenir des formes complexes de haute précision.
Il possède une excellente capacité d'étanchéité au vide et n'a pas dégagé beaucoup de gaz.
Propriétés d'ondes à haute fréquence, permettant à la lumière visible infrarouge de passer facilement.
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