Bras manipulateur en céramique

pour manutention de wafers

Les pièces en céramique d'alumine sont utilisées pour les pièces rotatives dans les machines de photolithographie et dans un état de vide. Ces pièces nécessitent une précision d'usinage extrêmement élevée, et le faux-rond du cercle intérieur doit être inférieur à 2 microns. Les céramiques fines sont devenues des composants clés des équipements pour semi-conducteurs. En particulier dans les machines de lithographie haut de gamme, afin d'atteindre une grande précision de processus, il est nécessaire d'utiliser largement des composants céramiques avec un bon composite fonctionnel, une stabilité structurelle, une stabilité thermique et une grande précision dimensionnelle, tels que E-chuck, Vacumm-chuck, Block, squelette en acier magnétique, plaque refroidie à l'eau, réflecteur, rail de guidage, etc. D'autres pièces céramiques de haute précision sont utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs Les céramiques de précision sont devenues des composants clés de l'équipement des semi-conducteurs, y compris les fours à monocristaux, l'équipement d'implantation d'ions, les machines de photolithographie, l'équipement CVD/PVD et l'équipement d'emballage et d'essai.