Le XY-XLS se compose de deux étages XLS empilés l'un sur l'autre sans l'utilisation d'une plaque d'adaptation supplémentaire. Avec le XY-XLS, on peut se positionner en 2-DOF avec une précision et une répétabilité nanométriques. Grâce au principe d'entraînement par ultrasons de l'étage XLS, le XY-XLS a une longue durée de vie, est rapide, silencieux et maintient sa position à l'arrêt. On peut même se déplacer à des vitesses très basses et constantes (µm/s).
Ces caractéristiques en font l'étage de microscope parfait ou le positionneur multi-DOF pour les applications en science des matériaux. Le XY-XLS peut être utilisé sous vide et fabriqué à partir de matériaux non magnétiques.
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