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Platine linéaire XLS-1 Ultimate Seriespiézoprécision submicroniquecompatible vide
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Caractéristiques
- Orientation
- linéaire
- Type
- piézo
- Autres caractéristiques
- précision submicronique, compatible vide, avec résolution subnanométrique
- Course
Max: 102 mm
(4,016 in)Min: 27 mm
(1,063 in)- Vitesse
Max: 200 mm/s
Min: 0 mm/s
Description
L'étage linéaire Xeryon (XLS) est un étage linéaire précis entraîné par un moteur piézoélectrique ultrasonique silencieux. Ceci permet un positionnement rapide avec une précision nanométrique. Le moteur piézoélectrique autobloquant maintient la position de la platine lorsqu'elle n'est pas alimentée. De ce fait, la consommation d'énergie et la production de chaleur sont considérablement réduites. Le codeur intégré a une résolution de 10 nm.
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VIDÉO
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