Platine précision submicronique XLS-1 Ultra Series

linéairepiézoavec résolution subnanométrique

L'étage linéaire Xeryon (XLS) est un étage linéaire très précis piloté par un moteur piézoélectrique ultrasonique silencieux. Ceci permet un positionnement rapide avec une précision nanométrique. Le moteur piézoélectrique autobloquant maintient la position de la platine lorsqu'elle n'est pas alimentée. De ce fait, la consommation d'énergie et la production de chaleur sont considérablement réduites. Le codeur intégré a une résolution de 78 nm.