Capteur de pression différentielle BW-MD

siliciumpour l'industrie aéronautiquepour l'industrie pétrochimique

Les puces de capteur en silicium monocristallin très stables de la série BW-MD de Beiwei ont été mises sur le marché international par lots et ont été largement utilisées dans les secteurs de la pétrochimie, de la métallurgie et de l'énergie électrique, de l'automatisation industrielle, de l'aérospatiale, de l'Internet de la technologie et de l'économie de la connaissance -Matériau de silicium monocristallin de haute pureté Les puces de silicium monocristallin de la série BW-MD sont fabriquées à partir de silicium monocristallin de très haute pureté, supérieur aux matériaux de silicium composite et de diffusion couramment utilisés sur le marché. Beiwei rompt ainsi avec le modèle selon lequel ce matériau n'est monopolisé que par quelques excellentes entreprises de capteurs dans le monde. -Conception de MEMS à double faisceau La puce de capteur en silicium monocristallin de la série BW-MD de Beiwei adopte le principe classique du pont de Wheatstone, mais adopte de manière innovante des ponts de Wheatstone doubles dans la conception du pont pour réaliser une "double poutre" sur le pont. Le circuit de pont à double faisceau, avec des caractéristiques de température complémentaires de la résistance du pont, réalise une auto-compensation lorsque le circuit de pont subit des changements d'auto-échauffement ou des interférences sonores, ce qui améliore considérablement la capacité anti-interférence et la stabilité à long terme de la puce. -Structure MEMS suspendue Les puces de capteur au silicium monocristallin de la série BW-MD sont entièrement composées de silicium monocristallin, la couche de détection et la couche de base sont collées avec du silicium-silicium pour améliorer les caractéristiques hydrostatiques de la puce (bien meilleures que la liaison traditionnelle silicium-verre), et en même temps, une couche de suspension de matériau inerte d'une épaisseur de μm est ajoutée entre la couche de détection et la couche de base pour réduire considérablement l'impact de la contrainte et améliorer les caractéristiques d'isolation.