Système d'inspection optique

automatiquepour la productionpour wafers

Ce système peut inspecter et trier automatiquement les plaquettes à utiliser pour la production. Il dispose de plusieurs fonctions intelligentes, telles que l'apprentissage profond, la vision artificielle, l'alerte en cas de panne et l'interface MES de l'usine. Capacité Capacité moyenne jusqu'à 8500 plaquettes/heure prouvée dans la production de masse réelle Extensibilité Le système peut fonctionner avec des supports de 25 à 150 plaquettes et peut être intégré à un nettoyeur de plaquettes Efficacité Plateaux à double étage, réduisant le temps de travail des ouvriers Avantages Service après-vente rapide et faible coût d'entretien Précision Des capteurs de profil à haute vitesse sont utilisés pour le module de mesure de l'épaisseur et des caméras à haute résolution sont utilisées pour les modules d'inspection de la taille et de la tache afin d'améliorer la précision de l'inspection Précision Les côtés latéraux dans les directions X et Y sont inspectés pour minimiser toute détection manquante de défauts ; les microfissures ne peuvent pas échapper à la détection grâce à l'inspection précise du module de microfissures dans la direction X.