Capteur de pression de vide WUD-2 series

à couche mincenumérique3 fils

Industrie des semiconducteurs, des écrans plats et photovoltaïque Approvisionnement en gaz haute pureté dans des systèmes de production de semi-conducteurs Particularités Mesure de pression de grande précision 0,15 % RSS Excellente stabilité à long terme Annulation de parasites sur signal et blindage Mesure de pression basée sur une référence de vide Compensation de température active Description Fiable Les transducteurs Ultra High Purity de la gamme WUD-2x combinent les concepts de transducteur de pointe avec des signaux de sortie analogiques. Ils assurent ainsi les mesures de pression les plus sûres et les plus précises correspondant aux besoins actuels du marché. La mesure de pression basée sur une référence de vide réelle et des mesures électroniques pour le blindage contre les interférences et l'annulation de parasites sur signal assurent une mesure de pression de haute précision et une excellente stabilité à long terme. Une compensation de température active réduit l'impact des changements de température sur le transducteur, permettant une exploitation en toute sécurité même pour les applications avec de fortes fluctuations de température, par exemple l'effet Joule-Thomson dans le cas d'une expansion de gaz. Les transducteurs WUD-25 (en passage intégral) et WUD-26 (montage en surface) sont spécifiquement conçus pour résister à des contraintes de torsion appliquées se produisant souvent pendant l'installation. La conception spéciale du capteur à couche mince élimine le risque d'une défaillance du capteur en raison de charges au niveau du raccord process ou des joints soudés.