Four à chambre

d'oxydationsous atmosphère contrôléepour l'industrie électronique

Fours Nos fours sont entièrement automatisés avec des outils et une conception pratiques pour les deux processus avec différentes zones de chauffage contrôlables complètement selon les capacités et les besoins des clients. Nos équipements sont pour ces types de wafers avec les diamètres de 100, 150, 200, 300 mm. FOURS ATMOSPHÉRIQUES Vegatec conçoit et fabrique des fours atmosphériques avec tout son système d'automatisation pour le laboratoire et l'industrie de la microélectronique, de la nanoélectronique et du photovoltaïque. Ces fours sont les suivants ; Fours d'oxydation (oxydation humide et oxydation sèche) Fours à diffusion Fours à dopage Fours de recuit Caractéristiques générales des fours atmosphériques Facile à utiliser et à entretenir grâce à une conception conviviale Chambre de four et porte-échantillon en porte-à-faux en quartz de haute pureté Capable de travailler dans des salles blanches de classe 10 Longue durée de vie grâce à des composants de haute qualité Zones de chauffage à commande séparée Utilisation facile de l'interface d'automatisation Tubes de four empilables pour la conception compacte de différents procédés en même temps Possibilité de chargement manuel ou automatique Capacité en fonction de chaque client Échelle laboratoire ou industrielle