Machine de dépôt MOCVD TurboDisc® MaxBright® MHP™

de couches minces

Le système de Multi-Réacteur de MOCVD de TurboDisc® MaxBright® MHP? GaN représente le dernier système modulaire de rendement élevé particulièrement conçu pour produire l'excellent rendement d'amélioration d'uniformité de longueur d'onde de dans-gaufrette jusqu'à de 20% au-dessus du MaxBright de l'empreinte de pas, de l'utilité, des avantages et de la configuration semblables de disposition. Les avancements de matériel du multi-réacteur offre l'uniformité améliorée de longueur d'onde à travers toutes les gaufrettes pour réaliser de plus grands rendements. MaxBright MHP offre également la propriété inférieure coûtée au-dessus du MaxBright. Le système combine de hauts réacteurs multiples de MOCVD de sortie dans un modulaire 2 - ou architecture de faisceau de 4 réacteurs pour accroître la technologie de FlowFlange® de Veeco et l'expertise uniformes production-prouvées d'automation. Basé sur la conception haut-réussie du K465i de Veeco, le système inclut les réacteurs améliorés qui assure la capacité augmentée de gaufrette et avance, classe des propriétaires, technologie thermique en circuit fermé de commande.