Système de distribution de gaz GSDS-Series

Les systèmes de livraison de sources de gaz (GSDS) de Veeco sont principalement utilisés pour les opérations de contrôle des sources de gaz Veeco MBE. Ils peuvent également être utilisés pour le contrôle précis des gaz et des enclenchements, ainsi que pour la surveillance des processus pour une gamme de types de gaz. Ces appareils sont équipés du logiciel Molly® ECS1 Growth Control qui permet une intégration rapide aux systèmes existants. Les systèmes d'alimentation en gaz sont disponibles en 3 configurations de modèles, spécialement conçus et fabriqués pour répondre aux demandes des clients, aux exigences des applications et aux budgets. Tous les ensembles comprennent des vannes d'arrêt manuelles de conduite de gaz pour chaque circuit, des purificateurs de filtre à gaz et des contrôleurs de débit massique. Des vannes de marche et d'évacuation à commande pneumatique sont également fournies.