Machine de traitement 3D par laser Ultratech LSA 101

LSA101 laser Spike Anneal System Utilisé en menant IDMs et fonderies dans le monde entier, le système du LSA101 Ultratech de Veeco ser de la technologie préférée pour la fabrication à fort débit des dispositifs logiques avancés du 40nm aux noeuds 14nm. Construit sur l'unité personnalisable Platform™, le système de balayage du LSA a les avantages fondamentaux dans l'uniformité et le bas-effort traitant, qui le rendent aisément applicable pour des noeuds actuels et futurs de dispositif. Le système LSA101 permet les applications de recuit de milliseconde critique qui permettent à des clients de maintenir les températures de traitement élevées, et réalise ainsi l'interprétation améliorée de dispositif, la fuite inférieure, et le plus grand rendement. La configuration LSA101 standard utilise un étroit simple à rayon laser pour chauffer la surface de gaufrette de la température de substrat à la température de recuit maximale. Une technologie de double poutre de LSA a été développée pour augmenter l'espace d'application du recuit de laser de non-fonte et comporte un deuxième à rayon laser de basse puissance pour permettre le traitement à basse température. À l'aide de la double poutre un à rayon laser plus de large de seconde est incorporé pour préchauffer la gaufrette. Le système de double poutre offre la flexibilité en accordant les profils de la température et d'effort.