Source d'ions DC

6cm x 30cm Source d'ions DC Source linéaire pour les substrats de grandes dimensions ou les grands lots de substrats Les sources d'ions CC à grille linéaire éprouvées de Veeco sont idéales pour les plates-formes de dépôt par faisceau d'ions très uniformes et fiables utilisant des substrats individuels de grande taille ou des lots de substrats importants. Ils constituent une excellente ressource pour les montages linéaires ou cylindriques. Caractéristiques de la même conception innovante, qualité et fiabilité que les sources de faisceaux d'ions ronds de classe mondiale de Veeco Fournit un plasma uniforme et une densité de courant élevée Supporte une large gamme d'énergie de faisceau de 50 à 2000 eV avec des courants de faisceau nominaux par source jusqu'à 500 mA Les options d'alimentation électrique permettent des courants de faisceau jusqu'à 800 mA