Source d'ions SOLUS™

Contrôleurs de source d'ions DC SOLUS Système d'alimentation électrique de pointe pour les sources d'ions à grille en courant continu de Veeco Le contrôleur de source d'ions DC de Veeco SOLUS™ est doté d'un système de contrôle de précision à la pointe de la technologie, fournissant une alimentation fiable et stable pour le fonctionnement des sources d'ions dans tous les types de processus. Les modules de puissance intégrés et le contrôle du débit de gaz avec des capacités de rapport permettent un contrôle optimal de la source d'ions et une performance optimale dans les environnements de processus les plus exigeants. Facile à utiliser avec un seul bouton Options d'opérations manuelles, automatisées et à distance Contrôle de pointe pour une meilleure stabilité du plasma Contrôle de débit de gaz intégré et configurable Paramètres de contrôle personnalisables pour un fonctionnement sur mesure de la source Fonctions de dépannage permettant de gagner du temps Ecran d'enregistrement des événements et des états utiles