Machine de dépôt assisté par faisceau d'ions SPECTOR®

de couches minces

SPECTOR Système de pulvérisation d'ions par faisceau d'ions à verrouillage de charge pour le revêtement optique Débit et répétabilité supérieurs pour un large éventail d'applications Le système de pulvérisation ionique SPECTOR® Loadlock de Veeco permet d'améliorer considérablement le débit pour une grande variété d'applications. Capable de commencer le dépôt dans les cinq minutes suivant le chargement du substrat, le système de verrouillage de charge SPECTOR peut facilement doubler le débit pour les conceptions dans lesquelles le temps de dépôt est plus court que les étapes de prétraitement typiques requises pour les outils en discontinu. La répétabilité du système est également améliorée grâce à la capacité de maintenir des conditions d'état stable pour des paramètres de procédé tels que la pression, la température, la composition de la surface cible et la puissance de la source d'ions. Les utilisateurs de SPECTOR Loadlock peuvent s'attendre à une amélioration du temps moyen entre les opérations de maintenance (MTBM) pour les composants tels que les neutralisateurs de fréquence radio, les chemises de chambre et les blindages en raison de leur exposition moins fréquente à l'atmosphère et l'humidité. L'ensemble de ces caractéristiques et avantages permet aux utilisateurs de fabriquer des films de la plus haute précision et qualité disponibles sur le marché à une fraction du coût. Augmentation substantielle du débit pour les applications de revêtement de faible/moyenne épaisseur Meilleure répétabilité grâce à des conditions de process plus stables par nature Augmentation du temps moyen entre l'entretien de plusieurs composants clés Contrôle amélioré des particules