Machine de dépôt PVD NEXUS IBD

assisté par faisceau d'ions

Cette machine aidée de dépôt du faisceau d'ions d'IBAD PVD est développée par VEECO. Elle est spécifiquement conçue pour approvisionner les applications qui incluent la polarisation dure, le fil, la couche d'isolation et le dépôt de pile de sonde. Cette machine est équipée d'un stockage de données pour augmenter le rendement de 80 sondes Gb/in2. En outre, elle emploie une fabrication de dispositif de FMH avec le système du dépôt de faisceau d'ions de la troisième-génération NEXUS® de Veeco (IBD). Pour son utilisation, elle fournit l'appui sur un large choix des dispositifs à partir du CIP courant aux dispositifs avançés de CPP.