Système MBE GEN930®

Le système GEN930 MBE de Veeco est adapté au développement de matériaux III-V ou II-VI, avec un accouplement de pompe direct pour les applications nitrure et oxyde. L'outil est de conception modulaire, ce qui garantit une solution économique et flexible capable de fournir une qualité de matériau éprouvée. Cet équipement peut être intégré à un équipement d'analyse pour le suivi in situ des processus de croissance. De plus, l'appareil offre une plate-forme polyvalente pour les techniques de surveillance in situ telles que le RHEED, la pyrométrie, l'ellipsométrie, la RGA, la surveillance des flux optiques et la spectroscopie de réflexion.