Semi-conducteurs, FPD et processus industriels, en particulier systèmes de CVD.
Déclencheur
Déclencheur ultra-rapide (Mme 90)
Contrôleur avec des paramètres configurables de pi
Interface RS232 avec 2 sorties analogiques
Interface d'Ethernet
Interface de DeviceNet
Interface de logique
Interface de Profibus
Interface RS-485
Interface de Cc-lien
Interface d'EtherCAT
Alimentation d'énergie de capteur de SPS = de C.C du ± 15V à la panne de courant)
PFO = option de panne de courant (la valve se ferme ou s'ouvre automatiquement
Valve
Nominal de diamètre : DN 40/50 avec ISO-KF DN 63/80/100 avec ISO-F
D'autres brides (JIS, ASA-LP, CFF/SI)
Le client a spécifié des brides
Anodisée dure en aluminium ou nickelé
D'autres matériaux de scellage
Appareil de chauffage avec l'isolation pour les températures 80°C, 100°C, 120°C de valve
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