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Vanne à opercule 162 seriesà commande pneumatiqued'arrêtpour l'industrie des semi-conducteurs
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Caractéristiques
- Type
- à opercule
- Actionnement
- à commande pneumatique
- Fonction
- d'arrêt
- Applications
- pour l'industrie des semi-conducteurs
- Matière
- en aluminium anodisé
- Autres caractéristiques
- compacte, normalement fermée, simple effet, pour fluide corrosif
- DN
Max: 500 mm
(19,685 in)Min: 200 mm
(7,874 in)- Pression
Max: 7 bar
(101,5 psi)Min: 5 bar
(72,5 psi)- Température
50 °C, 80 °C, 120 °C
(122 °F, 176 °F, 248 °F)- Débit
Max: 101 500 l/s
(26 813,46 us gal/s)Min: 11 000 l/s
(2 905,89 us gal/s)
Description
Pour les procédés semi-conducteurs exigeants tels que CVD et ETCH.
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Catalogues
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