Vanne à opercule 162 series
à commande pneumatiqued'arrêten aluminium anodisé

Vanne à opercule - 162 series - VAT Vakuumventile AG - à commande pneumatique / d'arrêt / en aluminium anodisé
Vanne à opercule - 162 series - VAT Vakuumventile AG - à commande pneumatique / d'arrêt / en aluminium anodisé
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Caractéristiques

Type
à opercule
Actionnement
à commande pneumatique
Fonction
d'arrêt
Corps
en aluminium anodisé
Applications
pour l'industrie des semi-conducteurs
Autres caractéristiques
compacte, normalement fermée, simple effet, pour fluide corrosif
DN

Max: 500 mm
(19,685 in)

Min: 200 mm
(7,874 in)

Pression

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Min: 5 bar
(72,5 psi)

Température

50 °C, 80 °C, 120 °C
(122 °F, 176 °F, 248 °F)

Débit

Max: 101 500 l/s
(26 813,46 us gal/s)

Min: 11 000 l/s
(2 905,89 us gal/s)

Description

Pour les procédés semi-conducteurs exigeants tels que CVD et ETCH.

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Catalogues

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.