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Électrovanne 061 series
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Caractéristiques
- Température
Max: 120 °C
(248 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Description
Vanne de transfert pour les systèmes de production de la Génération 4 à 11 écrans plats. Dans les systèmes de production FPD, la vanne de transfert TwinVAT est utilisée pour le verrouillage de la charge, le transfert et l'isolation de la chambre de traitement.
Valve
Unité de contrôle de processus (PCU) et électrovannes
Traitement de surface, par ex. aluminium anodisé dur
Vacuomètre pour détecter la pression à l'intérieur du corps de vanne
Position de montage verticale
Portail
Autres matériaux d'étanchéité
Mise à la terre électrique
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Catalogues
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.