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Vanne à opercule 053 seriespneumatiqueen aluminiumpour l'industrie des semi-conducteurs
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Caractéristiques
- Type
- à opercule
- Actionnement
- pneumatique
- Corps
- en aluminium
- Application
- pour l'industrie des semi-conducteurs
- Autres caractéristiques
- à double effet, pour environnement corrosif
- DN
50 mm, 336 mm, 480 mm, 500 mm
(1,969 in, 13,228 in, 18,898 in, 19,685 in)- Pression
Max: 7 bar
(101,5 psi)Min: 4 bar
(58 psi)- Température
Max: 120 °C
(248 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Description
Pour la serrure de charge/isolement de processus de module. Pour des applications de semi-conducteur de 300mm et de 450mm.
Déclencheur
L'autre tension de vanne électromagnétique (24VDC standard)
Insertion
D'autres matériaux de scellage, par exemple FFKM, VMQ, joint de porte de FVMQ
Joint de joint circulaire dans la porte au lieu du joint vulcanisé (norme)
Acier inoxydable de porte
Double indicateur de position
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Catalogues
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