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Vanne à opercule 651 seriesélectriqued'isolementde régulation de pression
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Caractéristiques
- Type
- à opercule
- Actionnement
- électrique
- Fonction
- d'isolement, de régulation de pression
- Corps
- en aluminium, en aluminium anodisé
- Application
- pour l'industrie des semi-conducteurs
- Autres caractéristiques
- pour environnement corrosif, entraînée par moteur, avec moteur pas à pas
- DN
Max: 400 mm
(15,748 in)Min: 160 mm
(6,299 in)- Pression
Max: 7 bar
(101,5 psi)Min: 4 bar
(58 psi)- Température
Max: 120 °C
(248 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Description
Optimisé pour les procédés corrosifs de semi-conducteurs et de FPD (p. ex. gravure) et pour les procédés de nettoyage entre les procédés de dépôt. En mode de régulation, la vanne fonctionne pratiquement sans particules. L'entretien peut se faire facilement et rapidement.
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