La série UNECS est une sorte d'ellipsomètres spectroscopiques pour mesurer rapidement et précisément l'indice de réfraction et l'épaisseur de la couche mince. Il adopte une méthode de mesure unique, et réalise des mesures compactes et rapides. Elle dispose d'une gamme de produits robustes, tels que le type de table de portage, le type d'étage automatique, le type intégré, etc.Mesure à grande vitesse :
La méthode de mesure de l'instantané est réalisée et la mesure à grande vitesse
est de 20 ms par point.
Gamme spectrale visible :
La plage de longueur d'onde spectrale peut être sélectionnée. Le type standard est
530nm~750nm et le type spectral visible est 380nm~760nm.
Unité de capteur compact :
Le capteur est léger et très compact. Il se compose de
un élément optique qui n'a pas de mécanisme de rotation. Dans
de plus, il n'y a pas besoin d'entretien périodique.
Forte gamme de produits :
Il y a une ligne de produits forts avec le type portatif, le manuel/
le type d'étage automatique, le type encastré et le grand type de substrat, etc.
PARTICULARITÉS / AUTRES APPLICATIONS
Mesure de couches minces transparentes ou semi-transparentes
épaisseur (D), indice de réflexion (N) et coefficient d'extinction (K). (Oxyde
film, film nitrure, film photorésistant, film ITO, etc.)
---