Analyseur de gaz de process QULEE RGM series

de surveillancede processde pression

SYSTÈME DE SURVEILLANCE RÉACTIVE DES GAZ DE PROCÉDÉ - SÉRIE QULEE RGM Ce système de surveillance des procédés a été mis au point pour divers types d'applications telles que la gravure, le dépôt chimique en phase vapeur et d'autres procédés de gaz réactifs. L'utilisation de la source d'ions et du système de pompage d'origine d'ULVAC vous permet d'obtenir des résultats de mesure stables et plus appropriés pour les appareils de gravure/CVD Résultats de mesures stables à long terme Source d'ions fermée utilisant un champ magnétique L'ionisation douce fournit moins de dissociation des gaz et une plus grande sensibilité. La décomposition et l'adsorption dues aux réactions thermiques sont réduites au minimum dans la chambre d'ionisation. Vanne conductance compacte avec 3 modes d'entrée de gaz différents La courte distance entre la chambre de traitement et la source d'ions permet réponse rapide de l'analyse. Convient à la surveillance des processus Large plage de pression de 1×10-6 à 13kPa (7,5×10-9 à 97,5 Torr, 1×10-8 à 130mbar) est disponible. (Choix d'orientations) Afficheur intégré Pas besoin de PC Utilisation simple "Fonction "One Click Bake Out Max 120˚C (248˚F) Cuisson à haute température Fonction Degas Bombe à électrons dégazée Fonctionnalités de protection et d'entretien Protection et entretien des sources d'ions et des électrons secondaires multiplicateur Traçabilité du tube d'analyse (brevet en instance) Différents tests d'étanchéité sont disponibles Test d'étanchéité à l'hélium, test d'étanchéité à l'air, fuite vers le haut Mesure de la pression totale Capable de mesurer la pression totale (jauge d'ionisation externe (GI-M2)) Qulee QCS est inclus Ce logiciel est inclus et compatible avec (Windows XP/7)