PIRANOMÈTRE ATMOSPHÉRIQUE COMBO SW1 & ISG1
Il s'agit d'une jauge pirani à large gamme qui mesure de la pression atmosphérique à 5×10-2 Pa (3,75×10-4 Torr, 5×10-4 mbar) Le fil de platine est utilisé pour les filaments, donc, le filament fonctionne même à la pression atmosphérique.large gamme de mesure
Mesure de la pression atmosphérique à 5×10-2 Pa (3,75×10-4 Torr,
5×10-4 mbar)
Tension d'alimentation
Alimenté avec une entrée 24VDC ou 100VAC à 240VAC
Résistant aux chocs
Conception très résistante aux chocs
Matériau du filament : platine (Pt)
Le platine résistant à la corrosion est utilisé comme matériau filamentaire
LED haute visibilité utilisées pour l'affichage des erreurs
Réglage à une touche
Le réglage atmosphérique et le réglage du point zéro peuvent être effectués
avec une seule touche
Maintenabilité
Tête de capteur facilement remplaçable
Signal de sortie de la valeur mesurée
La pression est de 0 à 10 V Sortie log
Signal de sortie de commande
3 sorties de consigne
Spécifications de communication série
Communication RS485 (ISG1)
Unité d'affichage
Avec LED visible
Attestation
Conforme à la norme CE
Contrôle de processus dans le domaine du vide bas d'équipements sous vide tels que
que celle utilisée pour les semi-conducteurs, l'optique et le champ photovoltaïque, FPD,
fabrication de pièces électroniques
Régulation de processus dans la plage du vide faible pour les équipements industriels tels que
comme les fours sous vide, etc.
Régulation de processus dans la plage de basse pression pour les systèmes de vide avec
plusieurs chambres de traitement telles que la pulvérisation cathodique en ligne et la fabrication de plaquettes individuelles
matériel de transformation
Pour l'unité de pompage (système) dont elle a une vibration et/ou un tremblement dans la zone
procédé de fabrication
---