SÉRIE G-TRAN SÉRIE PIRANI CAPTEUR DE JAUGE SP1
Le capteur SP1 est une jauge pirani intégrée composée de la tête de mesure et des circuits de la série WP, pour une plage de 3000 à 0,4Pa (22 à 3×10-3 Torr/ 3 à 4×10-3 mbar). Cette jauge à vide permet de réduire les coûts et d'économiser de l'espace en minimisant les fonctions. Pour ce faire, il suffit de retirer l'afficheur
Si vous n'avez pas besoin d'un dispositif d'affichage de pression :
Vous pouvez réduire les coûts associés à une jauge à vide.
Vous pouvez économiser de l'espace en minimisant le panneau de contrôle.
Vous pouvez minimiser les circuits de câblage.
Facilité d'entretien
Le remplacement des têtes de capteur est très simple.
Matériau du filament : platine (Pt)
Le platine résistant à la corrosion est utilisé pour le matériau ilamentaire.
Capable d'utiliser les têtes de mesure de la série WP
Vous pouvez utiliser des têtes de mesure de courant (WP-01, 02, 03, 16) sans
modiication.
Signal de sortie de commande
L'utilisation de deux points de consigne est possible.
Signal de sortie
La lecture de la pression est une sortie 0 à 5V (non linéaire).
Tension d'alimentation
L'unité fonctionne avec une entrée DC24V. contrôle du processus dans la gamme de vide bas de l'équipement de vide tel que
que pour la fabrication de semi-conducteurs, d'optiques et de composants électroniques.
Régulation de processus dans la plage du vide faible pour les équipements industriels tels que
comme les fours sous vide, etc.
Régulation de processus dans la plage de basse pression pour les systèmes de vide avec
plusieurs chambres de traitement telles que la pulvérisation cathodique en ligne et la fabrication de plaquettes individuelles
les équipements de traitement.
---