La pompe ionique à pulvérisation est l'une des pompes utilisées pour générer un vide ultra et extrêmement élevé. Cette pompe a une conception simple sans pièces mobiles pour produire de l'usure et des vibrations. Ces caractéristiques font de la pompe à ions de pulvérisation la pompe préférée pour l'utilisation dans les accélérateurs et les équipements d'analyse. ULVAC, Inc. a développé la série ACTER de pompes à ions par pulvérisation cathodique. Les pompes ACTER utilisent un champ magnétique optimisé et de nouveaux éléments ACTER pour améliorer considérablement les caractéristiques de pompage dans la plage de vide ultra et extrêmement élevé et pour améliorer le coût global de fonctionnement. Grâce à ces améliorations de performance, les pompes ACTER ont été acceptées dans l'accélérateur, le microscope électronique et d'autres domaines scientifiques.pression ultime dans l'ordre de 10-10 Pa obtenue avec un dôme de test
conformes aux normes ISO (séries CXII, AXII)
Excellente performance de pompage obtenue avec le gaz inerte amélioré
modèle de pompage (type AXII)
Etuvage très efficace et réduction des fuites de champ magnétique avec
chauffage et couvercle de blindage exclusifs
Vitesse de pompage élevée dans la plage de vide très élevé
Temps sans entretien plus long
Caractéristiques de pompage de premier ordre en
ultra et ultra-haut vide
(la décharge est maintenue à un niveau bas jusqu'à
la gamme ultra-vide)
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