Enregistrement de l'inclinaison dans le champ gravitationnel au moyen de capteurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) avec numérisation et linéarisation ultérieure par contrôleur. La sortie des données s'effectue via l'interface CANopen ou sous forme de signal analogique. Le capteur d'inclinaison dispose d'un boîtier en aluminium stable (en option en acier inoxydable). Pour l'alignement mécanique (jusqu'à ± 7,5° environ), des trous oblongs sont prévus. En option, il est possible de choisir une fiche ou une fiche/prise pour la connexion CANopen. L'indice de protection IP 69K, par exemple pour une utilisation sous l'eau, est obtenu par des mesures d'empotage dans le boîtier.
Les capteurs MEMS sont des circuits intégrés fabriqués en micromécanique de silicium en vrac. Ces structures micromécaniques sont utilisées pour former des capacités doubles. Si ces structures sont déviées lors d'accélérations, par exemple lors d'accélérations dues à la gravité (g), il se produit des variations de capacité qui sont mesurées et traitées ultérieurement. En raison de la dépendance de la capacité différentielle décrite ici, la tension de sortie suit la fonction U ∝ g * sin α. L'angle α est ici l'angle d'inclinaison du capteur mesuré par rapport au vecteur g. Ces capteurs mesurent avec précision, ont une longue durée de vie et sont très robustes. Les axes de mesure fonctionnent indépendamment les uns des autres.