Générateur de plasma PECVD TruPlasma DC 4000 (G2)

PVD

Les générateurs pulsés TruPlasma DC Série 4000 (G2) ont été mis au point tout spécialement pour la pulvérisation DC réactive de matériaux difficiles. Les générateurs fonctionnant avec du courant continu pulsé s'imposent en particulier dans les processus PVD et PECVD critiques, pour lesquels une qualité de revêtement et une productivité maximales sont exigées. Les alimentations électriques DC compactes sont utilisables aussi bien en mode pulsé qu'en mode Bias : pour ainsi dire deux appareils dans un unique boîtier ! Qualité de revêtement et productivité élevées Le traitement de signal numérique garantit la stabilité des processus et une minimisation des pertes de temps causées par des arcs. Des résultats excellents même dans les processus critiques Le traitement rapide des arcs, combiné à la technologie du courant continu pulsé, minimise les endommagements du substrat. Simplicité d'adaptation du processus Grâce à un large spectre de fréquence et à une tension inversée adaptable. Construction compacte et robuste Le refroidissement par eau intégré économise de la place et réduit le temps de maintenance.