Générateur de plasma TruPlasma MW series

Les générateurs de la Série TruPlasma MW reposent sur la technologie des semi-conducteurs et atteignent une précision de fréquence nettement supérieure à celle des générateurs de micro-ondes par magnétron. Le concept de plateforme innovant peut réaliser des densités de plasma très élevées et même répondre à des exigences de processus très pointues de manière efficace et économique. La structure modulaire permet de plus une mise à l'échelle précise de la puissance de sortie. L'alimentation électrique reste stable en permanence, sans aucun impact sur la qualité du processus. Dans la fabrication de semi-conducteurs, de cellules solaires et d'écrans, la Série TruPlasma MW garantit les meilleurs résultats et une fiabilité maximale grâce à des fonctions de processus modernes. Formation précise et rapide des impulsions Une impulsion innovante de l'ordre de la nanoseconde permet un excellent contrôle du processus plasma. Dispositif intelligent de réglage automatique de la fréquence Une adaptation automatique de la fréquence garantit un résultat optimal du processus et une reproductibilité élevée. Phases synchrones Dans les systèmes à plusieurs antennes, différents générateurs peuvent fonctionner en synchronisation de phase et être pulsés. En faisant varier les relations de phase entre les différents générateurs, il est possible d'obtenir une homogénéité du plasma sur une grande surface. Conception robuste Faites confiance au fonctionnement du générateur - même en cas de désadaptation, la qualité du processus n'est pas affectée.