Le Minilock-fantôme RIE ICP est un système de gravure à l'eau-forte à haute densité avancé avec un loadlock de vide et une source inductivement couplée de plasma. Il a été conçu pour fournir des processus de bord d'attaque innovateur et. La petite empreinte de pas et la conception robuste le rendent idéal pour des environnements de recherches et de production
---