Le système électrostatique de Chuck Optimizer du model 640 du voyage est un outil de diagnostic qui permet à l'évaluation et à l'optimisation des formes d'onde/des tensions pour les mandrins/brides électrostatiques afin de réduire au minimum le temps de De-bride, maximiser la force de bride, et réalise la gaufrette optima traitant pour des systèmes d'ESC.
Le model 640 combine deux amplificateurs (pour des combinaisons biphasées de tension) et un générateur de formes d'ondes, qui peuvent être indépendamment programmés et configurés pour étudier, rechercher, et découvrir la recette parfaite d'alimentation et de forme d'onde d'énergie pour conduire efficacement une application d'ESC. Un voltmètre électrostatique (ESVM) est inclus pour surveiller la tension résiduelle du processus de clamping/de-clamping.
Caractéristiques principales
Mise en phase de sortie :
Tension A : 0 à ±2 kilovolt (4 kilovolts p-à-p)
Tension B : 0 à ±2 kilovolt (4 kilovolts p-à-p)
Chaîne de courant de sortie : 0 au C.C de ±5 mA avec une capacité maximale de 10 mA
Chaîne électrostatique de voltmètre : 0 au C.C de ±2 kilovolt ou au C.A. de crête
Mise en phase de sortie :
Résolution : bit 16
Échantillons par seconde : 250k
Les applications typiques incluent
manipulation motivée par électrostatique des matériaux
Traitement de gaufrette de semi-conducteur
Transfert non mécanique des écrans plats ou d'autres matériaux de traitement sensibles à la manipulation mécanique
Caractéristiques et avantages
Permet à la création des formes d'onde adaptées aux besoins du client d'être simple pourtant puissante, pour produire des formes d'onde les plus complexes qui peuvent être envisagées par l'utilisateur
Le logiciel du produit accepte des paramètres par l'intermédiaire de l'entrée de données arbitraires, des formes d'onde préprogrammées, ou des dossiers écrits par l'utilisateur de CSV
Adapte aux systèmes uniphasés ou biphasés d'ESC
La recherche est augmentée par l'intermédiaire de trois étapes individuellement programmées pour établir la sortie
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