Le microscope modèle de la force 1100TN électrostatique de voyage (EFM) permet des mesures de distribution de tension avec une résolution spatiale très élevée meilleure que 10μm qui est bien au-delà de la capacité des voltmètres électrostatiques typiques. L'EFM du voyage peut également mesurer la distribution de tension à travers une superficie beaucoup plus grande par rapport à un microscope de balayage de sonde une fois fonctionné dans des conditions atmosphériques. L'EFM du voyage utilise une tension de retour au détecteur qui est égal à la tension mesurée empêchant de ce fait courber entre le détecteur et la surface à l'essai.
Caractéristiques principales
Chaîne de tension : ±1 kilovolt
Sensibilité de tension :
Exactitude : Meilleur que 0,5% de complet
Meilleur que 100 système mv
Étape par accroissement : 1 µm, minimum (détecteur)
Astuce de détecteur : 5 µm du µm X 5
Région de mesure : 5 millimètres X 5 millimètres
Les applications typiques incluent
Mesure des sacs antistatiques, gaufrette de SI
Essai de matériaux d'électrophotographie
Évaluation photovoltaïque de matériaux
Essai de MEMS
Caractéristiques et avantages
Peut être employé dans des états de l'atmosphère
La résolution spatiale est meilleure que le μm 10
Trois modes de mesure :
- Charge statique
- Ligne profil
- cartographie 3D
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