Plateforme anti-vibration STACIS Quiet Island

Les usines de fabrication de semi-conducteurs (fabs), les centres de nanotechnologie, les nanofabs et autres installations de fabrication et de recherche de précision intègrent souvent des salles blanches avec un système de faux planchers surélevés pour répondre aux besoins d'installations complexes (plomberie, câbles électriques, tuyauterie de gaz, etc.) et pour maintenir des normes de propreté strictes. De tels sols représentent un défi pour l'installation d'équipements de production, d'inspection et de métrologie sensibles aux vibrations. Les planchers surélevés ne peuvent pas fournir l'environnement vibratoire silencieux nécessaire pour de tels outils. Le Quiet Island® de TMC est une solution innovante qui remplace une section de la surface du plancher surélevé par un "Quiet Island" ancré au sous-plancher inférieur. Le Quiet Island consiste en une plate-forme compatible avec les salles blanches, combinée à une structure de support spécifique à l'application et au site. Annulation des vibrations Le principal élément de support et la technologie de base unique à l'île tranquille est le système actif d'annulation des vibrations STACIS III. Ce système de support d'annulation des vibrations inertielles de style " rigide " est essentiel pour tout instrument sensible aux vibrations, permettant à ces outils de fonctionner selon les normes les plus élevées dans un environnement autrement bruyant. STACIS III est compatible avec les outils de traitement automatisé des wafers, les outils d'imagerie eBeam haute résolution, les outils de fraisage par faisceau d'ions, et tout outil doté de systèmes d'isolation vibratoire interne, à la fois passifs et actifs (voir notre livre blanc sur l'empilement actif sur les isolateurs actifs). De plus, il offre la meilleure isolation contre les vibrations dans la plus large gamme de fréquences disponible sur le marché. De plus, la conception "hard-mount" est extrêmement rigide, de sorte qu'il n'y a pas de problème de stabilité pour les outils hauts et lourds.