STACIS® 4 est le système d'isolation active des vibrations le plus avancé du marché. Utilisant des capteurs inertiels de vibrations, des algorithmes de contrôle sophistiqués et des actionneurs piézoélectriques de pointe, STACIS annule les vibrations en temps réel en mesurant en permanence l'activité du sol, puis en dilatant et en contractant les actionneurs piézoélectriques pour filtrer les mouvements du sol. Le tout nouveau STACIS 4 s'appuie sur le succès de notre technologie STACIS éprouvée, qui est utilisée par 9 des 10 premiers fabricants de semi-conducteurs dans le monde.
Initialement conçu pour isoler les équipements de microlithographie, de métrologie et d'inspection de précision dans les usines de semi-conducteurs de pointe, STACIS est aujourd'hui la solution standard de l'industrie pour les instruments les plus sensibles dans les environnements bruyants, y compris, mais sans s'y limiter, dans des applications telles que l'analyse des défaillances, la recherche en nanotechnologie, la nanofabrication, la biologie structurelle et la recherche sur les matériaux.
STACIS 4 comprend un nouveau contrôleur numérique amélioré, moins bruyant, le DC-2020 avec un processeur double cœur. Ce nouveau système de contrôle avancé offre à l'utilisateur une interface graphique facile à utiliser.
STACIS 4 s'appuie sur l'architecture avancée des générations précédentes en ajoutant des algorithmes de contrôle avancés et une nouvelle technologie brevetée. Il en résulte une annulation des vibrations du sol des bâtiments à toutes les fréquences, mais particulièrement en dessous de 10 Hz, là où l'imagerie et la métrologie à haute résolution sont les plus sensibles, ce qui n'était pas possible auparavant. Associé à la technologie brevetée FloorSense™, STACIS 4 réduit les vibrations du sol du bâtiment de 60 dB à 2 Hz et de 27dB à 1Hz. Les spécifications complètes des performances du STACIS 4 sont incluses ci-dessous.
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