Système anti-vibrations actif Electro-Damp® II

pour l'industrie des semi-conducteurs

L'électro-Damp® est le premier système actif commercial d'isolement de vibration conçu spécifiquement pour augmenter la sortie, la résolution, et le rendement dans des applications de fabrication de semi-conducteur. L'II Électro-humide est une nouvelle conception complète du système original, ajoutant la modularité, la commande numérique, la réaction, les déclencheurs de haut-force/haut-dégagement, et les interfaces utilisateurs numériques multiples spécifiquement conçues pour l'usage dans des applications d'OEM telles que le microlithography, l'inspection, et les outils de métrologie. Exigences contradictoires d'endroit d'outils de fabrication de semi-conducteur vis-à-vis de leur système d'isolement de vibration. En réponse au bruit de plancher, le système doit être mou pour filtrer effectivement la vibration de plancher d'atteindre la surface d'isolement. Simultanément, le système doit être raide en réponse aux forces d'étape qu'un tel ce mouvement d'étape induit le déplacement minimal de la surface et des bancs à dossier d'isolement rapidement. En plus d'utiliser le retour à inertie et actif atténuant, réaction Électro-humide de l'information des utilisations II pour améliorer plus loin la réaction de système. Travaux de réaction à côté de prendre l'information d'un contrôleur d'étape au sujet de la position et l'accélération de l'étape, puis les processus qui données pour fournir la mise en action de force à la charge utile, réduisant considérablement le mouvement causé par l'étape de charge utile. Le système peut lire l'information de réaction digitalement, en tant que signaux analogues bipolaires, ou en lisant la sortie des encodeurs de quadrature. Le contrôleur de DC-2000 Digital peut également automatiquement ajuster les paramètres exigés par réaction utilisant une carte-test d'étape. Ceci fait l'installation sur les installations initiales, ou après des changements à la charge utile, rapide et facile.