Système anti-vibrations actif Stage-Base 450

pour l'industrie des semi-conducteurs

TMC continue d'appliquer les progrès de la technologie pour développer de nouvelles solutions aux exigences difficiles que les outils à semi-conducteurs imposent à leurs systèmes d'isolation des vibrations. Stage-Base 450 est spécialement conçu pour être le principal système d'annulation des vibrations pour les outils semi-conducteurs avancés qui intègrent des platines X-Y motorisées de haute précision. Si ces outils nécessitent une annulation des vibrations extrêmement efficace, ils exigent également que le mouvement de la charge utile induit par la platine se stabilise très rapidement afin de maximiser le débit de l'outil. Avec l'ajout d'un VCM avec un contrôle par anticipation pour un temps de stabilisation encore plus rapide afin d'augmenter encore le débit, le résultat est le système d'annulation active des vibrations et des mouvements le plus avancé pour les applications à platines mobiles. L'avantage de la base de la platine Stage-Base 450 est la nouvelle génération de systèmes actifs d'annulation des vibrations piézoélectriques à montage dur intégrant la technologie de la bobine mobile. Seule TMC peut offrir cette technologie unique de type série pour l'annulation avancée des vibrations à basse fréquence avec des moteurs à bobine vocale (VCM) pour l'annulation agressive des mouvements de la scène mobile. Le système de contrôle actif de nouvelle génération Stage-Base 450 intègre la technologie STACIS de TMC pour obtenir une annulation extrême des vibrations à l'aide d'actionneurs piézoélectriques et d'une suspension rigide dans une architecture de type série. Il en résulte une isolation des vibrations du sol à partir de 0,6 Hz, inégalée dans l'industrie, avec une déflexion initiale considérablement réduite en réponse aux forces de la scène. - Incorpore la technologie unique STACIS® - Utilise des actionneurs piézoélectriques à force élevée et à course étendue - Répétabilité de la position de la charge utile au micron près - Conception montable sur châssis - 6 degrés de liberté actifs