STACIS® III est un système avancé et flexible d'isolation active des vibrations. Utilisant des capteurs de vibrations inertiels avancés, des algorithmes de contrôle sophistiqués et des actionneurs piézoélectriques de pointe, STACIS annule les vibrations en temps réel en mesurant continuellement l'activité du sol, puis en étendant et en contractant les actionneurs piézoélectriques pour filtrer les mouvements du sol.
Conçu à l'origine pour isoler les équipements de microlithographie, de métrologie et d'inspection de précision dans les usines de semi-conducteurs de pointe, STACIS est désormais la solution standard de l'industrie pour les instruments les plus sensibles dans les environnements bruyants, y compris, mais sans s'y limiter, les fabriques de semi-conducteurs, les laboratoires d'analyse des défaillances, la recherche en nanotechnologie, les installations de nanofabrication et la recherche sur les matériaux
STACIS III comprend un nouveau contrôleur numérique amélioré, le DC-2020. Doté d'un nouveau processeur à double cœur et de ports série Ethernet et USB sur les panneaux avant et arrière, ce nouveau système de contrôle avancé offre à l'utilisateur une interface utilisateur graphique (GUI) moderne et facile à utiliser. Avec plusieurs centaines d'installations réussies dans le monde, STACIS est le système d'isolation vibratoire idéal pour les instruments les plus sensibles aux vibrations.
Cent fois plus rigide que les isolateurs à air, STACIS ne souffre d'aucune des limitations des systèmes d'isolation vibratoire à air. Il n'y a pas de suspension "molle" et, contrairement aux systèmes à air actif, STACIS peut être placé sous un outil avec un système d'isolation à air actif interne avec les deux systèmes entièrement optimisés.
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