MEB analytique à haute résolution pour la caractérisation des matériaux de routine, la recherche et les applications de contrôle de qualité à l'échelle submicronique
Le microscope électronique à balayage (MEB) de 4ème génération de TESCAN MIRA avec source d'émission d'électrons FEG Schottky combine l'imagerie MEB et l'analyse de la composition des éléments vivants dans une seule fenêtre du logiciel Essence™ de TESCAN. Cette combinaison simplifie considérablement l'acquisition des données morphologiques et élémentaires de l'échantillon, faisant du MEB MIRA une solution analytique efficace pour l'inspection de routine des matériaux dans les laboratoires de contrôle qualité, d'analyse des défaillances et de recherche.
- Plate-forme analytique comprenant le logiciel TESCAN Essence™ EDS entièrement intégré, qui combine efficacement l'imagerie MEB et l'analyse de la composition élémentaire dans une seule fenêtre du logiciel Essence™.
- Des conditions d'imagerie et d'analyse optimales immédiatement disponibles grâce à la conception optique sans ouverture unique de TESCAN, alimentée par le faisceau en vol Tracing™.
- Navigation MEB précise et sans effort sur l'échantillon à des grossissements aussi faibles que 2× sans avoir besoin d'une caméra de navigation optique supplémentaire grâce à la conception Wide Field unique de Optics™.
- Le mode SingleVac™ est une fonction standard pour l'observation des échantillons sensibles à la charge et au faisceau.
- Logiciel Essence™ intuitif et modulaire conçu pour une utilisation sans effort, quel que soit le niveau d'expérience de l'utilisateur.
- La sécurité ultime des détecteurs montés sur la chambre lorsque la scène et l'échantillon sont en mouvement est garantie avec le modèle de collision 3D de Essence™.
- Des détecteurs SE et ESB en colonne sont disponibles en option, y compris la technologie de décélération du faisceau pour améliorer les performances d'imagerie à des tensions d'accélération plus faibles.
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