Jauge à vide Pirani HPM 2002

piézorésistiveavec afficheur LEDcompacte

Le vacuomètre à large gamme et à double capteur de la série 2002, récompensé par de nombreux prix, est disponible en deux styles de montage : montage sur panneau ou montage sur capteur. Le HPM-2002, vacuomètre à double capteur, est un instrument monté sur panneau avec une unité d'affichage basée sur un microprocesseur, un tube de mesure et un câble d'interconnexion. Les deux éléments de détection (capteur Pirani micro-usiné et capteur piézorésistif) fournissent une mesure précise du vide sur 7 décennies de pression, de 1 X 10-4 à 1000 Torr. Un algorithme résidant dans le microprocesseur assure une transition transparente entre les capteurs. le HPM-2002-OBE, vacuomètre à double capteur, est une version de la jauge montée sur un système. Le HPM-2002-OBE offre toutes les caractéristiques de performance de la série 2002 dans une configuration compacte avec un choix de 12 options de sortie de signal. Applications Gravure de semi-conducteurs Chambre de pulvérisation Systèmes de verrouillage de charge Contrôle et test des processus Revêtement par plasma