Les techniques de débit massique fournissent des mesures fiables, répétables et précises du débit de gaz.
Les instruments de débit massique HFM-D-300A / HFC-D-302A ont des plages de débit allant de 0-5 sccm à 0-25 slm ; ils utilisent des joints entièrement métalliques, offrent des sorties analogiques et numériques et sont construits en acier inoxydable. Les communications numériques sont faciles et conviviales, avec une interface logicielle basée sur Windows.
L'autodiagnostic du capteur, de la vanne et du trop-plein est inclus dans les caractéristiques numériques. La fonction de mise à zéro automatique, qui détecte la fermeture de la vanne et remet automatiquement le zéro à zéro, est également intéressante. Ces débitmètres et régulateurs de masse peuvent stocker jusqu'à 10 étalonnages de différentes gammes et de différents gaz. Une autre caractéristique est le totalisateur intégré qui permet de surveiller la consommation de gaz dans des conditions définies par l'utilisateur.
Test de fuite
Dépôt de couches minces
Distribution de gaz de haute pureté
Projection thermique à la flamme
Mélange de gaz
procédé pharmaceutique
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